一般潔凈等級較高之潔凈室，其廠(chǎng)房均設有次潔凈區，使得潔凈室中含微粒之氣流經(jīng)由高架地板及潔凈室樓板進(jìn)入到次潔凈區，再由抽風(fēng)設備將次潔凈區之氣流抽至潔凈室天花板之濾網(wǎng)，重新過(guò)濾出潔凈且穩定之氣流，而產(chǎn)生一個(gè)循環(huán)系統，這使得潔凈室樓板須留有足夠之回風(fēng)孔，使潔凈室之氣流經(jīng)由此回風(fēng)孔送到次潔凈區。再加上須具有足夠強度以承受制程機臺之重量，以及抑制微振動(dòng)影響制程之質(zhì)量，因此衍生出潔凈室樓板之特殊設計。目前高科技廠(chǎng)房潔凈室樓板使用的通風(fēng)樓板統稱(chēng)為華夫板。
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